液晶半導體無塵設備系統
卡匣提升機?
Tray盤提升機?
1.升降速度:45-90m/min,定位精度±2mm;
2.輸送速度:12-25m/min,輸送精度±2mm;
3.設備使用環境:Class10、Class100、Class1000;
4.載荷:1500KG;
1.升降速度:45-90m/min,定位精度±2mm;
2.輸送速度:12-25m/min,輸送精度±2mm;
3.設備使用環境:Class100、Class1000;
4.載荷:200KG;
卡匣裝載臺?
棧板提升機?
1.升降速度:45-60m/min,定位精度±2mm;
2.輸送速度:12-25m/min,輸送精度±5mm;
3.設備使用環境:普通環境;
4.載荷:1000KG;
1.卡匣歸正范圍:30mm;
2.卡匣重復歸正精度:±1mm;
3.卡匣水平度:±1mm;
4.設備使用環境:Class10、Class100、Class1000、Class10000;
5.載荷:1000KG;
單雙層玻璃旋轉機(90度/180度)
單雙層玻璃輸送機
1.Roller參數:真圓度≤0.15mm,偏擺度≤0.3mm;
2.輸送速度:30m/min;
3.重復定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m);
4.整體平行度:≤1mm;
5.旋轉精度:θ誤差≤0.35°;
1.Roller參數:真圓度≤0.15mm,偏擺度≤0.3mm;
2.輸送速度:30m/min;
3.重復定位精度:前后≤1.5mm(5m),左右≤1.5mm(5m);
4.整體平行度:≤1mm;
玻璃翻轉機
Foup CV
1.OHT可在此設備取放晶圓盒。
2.可快速傳送晶圓盒,可在跨廠別中依照廠房LAYOUT需求布置。
3.將直線CV與旋轉單元結合使用。
4.設備潔凈度為iso class 100級別。
5. SEMI標準兼容的界面系統。
1.翻轉精度:±1mm;
2.輸送精度:±0.2mm;
3.設備使用環境:Class100、Class1000;
MULD
Sotter
1.OHT或AGV可在此設備取放晶圓盒,供人員可手動取放晶圓盒,節省人員移動時間與手動搬運的風險。
2.在PORT前方設置光柵,保證人員與設備的安全。
3.設備潔凈度為iso class 100級別。
4.兩個PORT位可自由切換LD或ULD,以利人員使用。
5. SEMI標準兼容的界面系統

1.SEMI標準兼容的界面系統。
2.可以配合AGV或OHT取放晶圓盒。
3.采用無X軸的雙臂機械手,通過雙軸復合運動實現取放片。
4.內部空間潔凈度能夠滿足iso class 1級別。
5內部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設備的安全

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