1.SEMI標準兼容的界面系統。2.可以配合AGV或OHT取放晶圓盒。3.采用無X軸的雙臂機械手,通過雙軸復合運動實現取放片。4.內部空間潔凈度能夠滿足iso class 1級別。5內部帶有多重互鎖保護,從軟件到硬件,多重保證晶圓傳輸過程中的安全,人員與設備的安全